Książka stanowi próbę całościowego przedstawienia obecnego stanu mikroelektroniki próżniowej. Definicją ?przyrządu mikroelektroniki próżniowej" zaczyna się pierwszy rozdział. Nie jest to jednak ani podręcznik technologii, ani poradnik konstruktora, lecz raczej przewodnik po problemach tej gałęzi mikroelektroniki. Praca składa się z trzech części: w pierwszej omówiono źródła elektronów od strony mikroelektroniki próżniowej. Najwięcej miejsca w tej części zajmuje emisja polowa - jedyny mechanizm emisyjny nadający się do zastosowania w mikroelektronice próżniowej, którą kojarzy się zwykle wprost z emisją polową. Drugą część poświęcono konstrukcji i materiałom, a także niektórym parametrom emiterów polowych. Trzecia część zawiera krótkie przedstawienie możliwości zastosowań mikroelektroniki próżniowej. Podano podstawowe zależności, niezbędne do zrozumienia poruszanych zagadnień oraz zarys teorii wybranych przyrządów, w których zastosowano specyficzne właściwości emiterów polowych o konstrukcji matrycowej.
Książka jest adresowana przede wszystkim do inżynierów elektroników i fizyków, zwłaszcza zajmujących się problemami emisji polowej. Dla tych ostatnich może być źródłem wiadomości o praktycznych możliwościach zastosowania tego zjawiska. Studenci starszych lat wydziałów elektroniki znajdą informacje o tym, z czym mogą się spotkać w najbliższych latach.
Spis treści:
Przedmowa
Wykaz oznaczeń
1. Wstęp
2. Podstawy fizyczne emisji elektronów
3. Emisja polowa
3.1. Emisja polowa z metali
3.1.1. Równanie Fowlera-Nordheima
3.1.2. Rozrzut energii elektronów
3.1.3. Bilans cieplny emitera
3.2. Emisja polowa z półprzewodników
3.3. Emisja polowa z dielektryków
3.3.1. Dielektryk na metalu
3.3.2. Dielektryk na półprzewodniku
3.4. Emisja polowa z materiałów o szerokiej przerwie energetycznej
3.5. Emisja polowa z powierzchni metali w stanie ciekłym
4. Inne rodzaje emisji
4.1. Emisja termoelektronowa
4.1.1. Wzór Richardsona
4.1.2. Ograniczenia termokatod
4.2. Emisja gorących elektronów z półprzewodnika
4.2.1. Emitery ze złączem p-n
4.2.2. Emitery z barierą Schottky'ego
4.3. Fotoemisja
4.3.1. Fotoemisja z metali
4.3.2. Fotoemisja z półprzewodników i dielektryków
4.4. Kryteria doboru źródeł elektronów dla przyrządów mikroelektroniki próżniowej
5. Emitery polowe
5.1. Ogólna charakterystyka emiterów polowych
5.2. Materiały emisyjne
5.3. Kształt ostrza i jego wpływ na parametry emitera
5.3.1. Pole elektryczne
5.3.2. Gęstość prądu emisji
5.4. Konstrukcje emiterów i metody ich wytwarzania
5.4.1. Emitery ostrzowe
5.4.2. Emitery liniowe
5.4.3. Emitery wieloostrzowe
5.5. Optyka emiterów
6. Warunki pracy emiterów polowych
6.1. Stabilność kształtu emitera w polu elektrycznym
6.2. Wpływ próżni na pracę emitera polowego
6.2.1. Oddziaływanie gazów resztkowych na emiter
6.2.2. Źródła gazów w otoczeniu emitera
6.2.3. Warunki pompowania
6.3. Wpływ konstrukcji przyrządu na działanie emitera
6.3.1. Izolacja międzyelektrodowa
6.3.2. Rozrzut technologiczny właściwości emiterów
7. Szumy emiterów polowych
8. Ekrany wizyjne
8.1. Systemy sterowania wiązkami elektronów
8.2. Konstrukcje ekranów i problemy technologiczne
8.2.1. Odstępniki
8.2.2. Luminofory
8.2.3. Pompowanie płaskich ekranów
9. Lampy mikrofalowe
9.1. Matryce emiterów w przyrządach mikrofalowych
9.1.1. Zastosowania emiterów w przyrządach mikrofalowych
9.1.2. Linia mikropaskowa stratna
9.1.3. Linia mikropaskowa z rzeczywistymi emiterami
9.1.4. Admitancja emitera
9.1.5. Parametry rzeczywistego emitera
9.2. Mikrotriody
9.2.1. Układ pracy i schemat zastępczy
9.2.2. Parametry mikrotriody
9.3. Lampy z modulacją siatkową
9.4. Lampy elektronowiązkowe
9.5. Wzmacniacze o stałych rozłożonych
10. Czujniki z emisją polową
10.1. Czujniki działające na zasadzie zmiany prądu emisji
10.1.1. Membranowy czujnik ciśnienia
10.1.2. Czujnik ciśnienia parcjalnego gazów resztkowych
10.2. Czujniki z polowymi źródłami elektronów
10.2.1. Próżniomierze jonizacyjne
10.2.2. Czujniki pola magnetycznego
Podsumowanie
Vacuum microelectronics
Literatura
Skorowidz rzeczowy
